1、簡介

靶材是濺射鍍膜領(lǐng)域內(nèi)應(yīng)用量最大的鍍膜材料，其性能影響下游客戶的鍍膜質(zhì)量。靶材由“靶坯”和“背板”綁定而成。在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。

靶材的種類較多，即使相同材質(zhì)的靶材也有不同的規(guī)格。按照不同的分類方法，可將靶材分為不同的類別。按材質(zhì)分可以分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材等；按照形狀可分為方靶、圓靶、異形靶等；按照應(yīng)用領(lǐng)域可以分為半導(dǎo)體靶材、平板顯示靶材、太陽能靶材等等。

2、產(chǎn)業(yè)鏈

我國靶材產(chǎn)業(yè)鏈涉及金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜等環(huán)節(jié)，參與主體主要為傳統(tǒng)靶材制造廠商以及高純金屬靶材基材生產(chǎn)商。近年來，產(chǎn)業(yè)鏈呈現(xiàn)橫向拓展特征，中游靶材制造企業(yè)紛紛布局產(chǎn)業(yè)鏈上游金屬提純領(lǐng)域，以起到靶材原材料自給、降低生產(chǎn)成本的效果。以江豐電子為例，公司“年產(chǎn)300噸電子級超高純鋁生產(chǎn)項目”進(jìn)展順利，已實現(xiàn)收益。

圖表 1 中國靶材產(chǎn)業(yè)鏈全景

3、行業(yè)現(xiàn)狀

靶材主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平面顯示、太陽能電池等領(lǐng)域。2017-2020年，在下游需求的帶動下，中國靶材行業(yè)市場規(guī)模逐年提高，近五年年均復(fù)合增長率為12%。據(jù)研精畢智分析師預(yù)測，2023年我國靶材市場規(guī)模將達(dá)到476億元。然而，中國大部分靶材行業(yè)企業(yè)主要生產(chǎn)的是低附加值的中低檔產(chǎn)品，產(chǎn)品呈現(xiàn)多品種、小批量、生產(chǎn)周期長的特點。

圖表 2 2018-2024年中國靶材市場規(guī)模預(yù)測趨勢圖

靶材行業(yè)的國產(chǎn)化進(jìn)程也在逐步加速，國內(nèi)靶材廠商進(jìn)入下游知名制造廠商的供應(yīng)體系提供了良好的發(fā)展機(jī)遇。根據(jù)中國靶材市場的主要應(yīng)用領(lǐng)域，平面顯示領(lǐng)域市場規(guī)模最大，占比最高，而半導(dǎo)體集成電路和太陽能電池用濺射靶材市場也將保持高速增長態(tài)勢。

目前，中國在濺射靶材業(yè)務(wù)上的主要客戶為半導(dǎo)體芯片制造商與面板制造廠商。此外，中國靶材企業(yè)的研發(fā)投入也在不斷增加，以提高靶材技術(shù)和性能，滿足下游應(yīng)用領(lǐng)域的不斷升級的要求。例如，阿石創(chuàng)在靶材業(yè)務(wù)上的毛利率較高，同時在研發(fā)投入上也具有一定的優(yōu)勢。

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